Nanolitografija je izraz koji se koristi za opisivanje niza tehnika za stvaranje nevjerojatno malih struktura. Uključene su veličine reda desetina nanometara (nm). Nanometar je milijarditi dio metra, mnogo manji od širine jedne ljudske vlasi. Riječ litografija koristi se jer je metoda generiranja uzoraka u biti ista kao i pisanje, samo u znatno manjem obimu.
Jedna uobičajena metoda nanolitografije, koja se posebno koristi u stvaranju mikročipova, poznata je kao fotolitografija. Ova tehnika je paralelna metoda nanolitografije u kojoj se cijela površina crta u jednom trenutku. Fotolitografija je ograničena veličinom na koju se može smanjiti, jer ako je valna duljina korištene svjetlosti premala, leća jednostavno apsorbira svjetlost u cijelosti. To znači da fotolitografija ne može doseći superfine veličine nekih alternativnih tehnologija.
Tehnologija koja omogućuje manje veličine od fotolitografije je litografija elektroničkim snopom. Korištenjem elektronske zrake za crtanje uzorka nanometar po nanometar, mogu se postići nevjerojatno male veličine (reda 20 nm). Međutim, litografija elektronskim snopom mnogo je skuplja i dugotrajnija od fotolitografije, što je čini teškom prodajom za industrijske primjene nanolitografije. Budući da litografija elektroničkim snopom funkcionira više kao matrični pisač nego bljeskalica, posao koji bi uz fotolitografiju trajao pet minuta trajat će više od pet sati s litografijom elektroničkim snopom.
Nove tehnologije nanolitografije stalno se istražuju i razvijaju, što dovodi do sve manjih mogućih veličina. Ekstremna ultraljubičasta litografija, na primjer, sposobna je koristiti svjetlost valnih duljina od 13.5 nm. Iako još uvijek postoje prepreke u ovom novom području, ono obećava mogućnost veličina daleko ispod onih koje proizvode trenutni industrijski standardi. Ostale tehnike nanolitografije uključuju nanolitografiju dip-pen, u kojoj se mali vrh koristi za taloženje molekula na površinu. Dip-pen nanolitografija može postići vrlo male veličine, ali trenutno ne može ići ispod 40 nm.
Financiranje istraživanja nanolitografije dolazi s brojnih mjesta, uključujući privatni akademski svijet, futurističke tvrtke s pogledom na nanotehnologiju sljedeće generacije i etablirane proizvođače računalnih čipova koji žele smanjiti svoje čipove daleko ispod trenutne veličine. Kako interes za nanotehnologiju raste unutar industrijskih sektora, financiranje i istraživanje će se bez sumnje proširiti u području nanolitografije, što će dovesti do vještijih tehnologija i čak nižih ograničenja veličine.