Mikroelektronika ostvaruje širok raspon funkcija, a jedno važno mjerenje koje vrši je vibracija. Senzori vibracija mjere ono što je poznato kao oscilatorno gibanje, kretanje koje se kontinuirano kreće naprijed-natrag. Smjer se može naznačiti pomoću koordinatnog sustava s osi, a može se izmjeriti i sila u odnosu na gravitaciju. Analiza vibracija se vrši mjerenjem pomaka i brzine te ubrzanja, što se prvenstveno analizira senzorima za praćenje vibracija. Različiti tipovi uključuju piezoelektrične, piezoelektrične integralne elektronike, piezorezistivne, varijabilne kapacitivnosti i servo senzore.
Senzori vibracija se obično nazivaju akcelerometri. Piezoelektrični akcelerometri rade na energiji sila koje na njih djeluju, pa nema potrebe za dodatnim izvorima energije u sustavu. Pomicanje naboja elektrona s obje strane senzora koristi se za generiranje mjerenja. Uobičajeni tipovi ovog senzora uključuju dizajn smicanja, koji je napravljen da podnosi velike temperaturne razlike, i dizajn tipa snopa koji se često preferira jer je obično dostupan po niskoj cijeni.
Piezoelektrični senzori s integriranom elektronikom uključuju vlastita mala pojačala, tako da poseban kabel nije potreban kao u piezoelektričnim proizvodima. Ulazni i izlazni signali prolaze kroz jedan kabel spojen na senzor, a cjelokupni dizajn je zaštićen od električnog šuma. Ovaj uređaj također može sadržavati elektroničke filtere, električnu zaštitu od preopterećenja i razne dodatne funkcije.
Piezorezistivni senzor je konfiguriran u dizajnu s jednom ili više kraka za proizvodnju složenijeg izlaza. Napaja se vanjskim izvorima energije, što omogućuje korištenje izlaznog signala za praćenje stabilnih uvjeta vibracija umjesto promjene smjera ili sile. Za uvjete visokog ubrzanja, senzori vibracija s promjenjivim kapacitetom često integriraju silikonske pločice s razmacima između radi izdržljivosti. Mogu tolerirati ubrzanja do 1,000 puta više od definiranog radnog raspona.
Za razliku od drugih senzora koji se oslanjaju na pomak kristala ili drugih elemenata u konfiguraciji otvorene petlje, servo ili balans sile, akcelerometar koristi dizajn zatvorene petlje. Senzori vibracija na servo pogon imaju veću točnost i mogu se koristiti u inercijskim sustavima navođenja. Drugi uobičajeni oblici senzora za analizu vibracija uključuju senzore blizine. Oni se često nalaze unutar strojeva za praćenje kretanja unutarnjih komponenti mjerenjem njihove električne vodljivosti. Dok su ovi bezkontaktni, drugi senzori vibracija oslanjaju se na kontakt za točno mjerenje kretanja ili udaljenosti.