Reaktivno ionsko jetkanje je vrsta tehnologije koja se koristi u mikroproizvodnji za uklanjanje tvari iz vafla. Oblatne su male poluvodičke trake koje se koriste u izradi mikrouređaja, a tehnologija reaktivnog ionskog jetkanja osigurava da ostanu bez materijala koji bi mogli negativno utjecati na njihovu učinkovitost. Postupci mikrofabrikacije izvode se s posebno dizajniranim uređajima koji točno određuju tvar koju treba ukloniti bez žrtvovanja integriteta vafla.
Najčešći uređaj za reaktivno ionsko jetkanje izrađen je od vakuumskog odjeljka u obliku cilindra s izoliranim držačem za pločicu pričvršćenom na donji dio komore. Na vrhu posude su male rupe koje propuštaju plin. Koriste se razne vrste plinova, ovisno o individualnim zahtjevima pojedine oblatne.
Induktivno spojena plazma je još jedan način ove tehnologije. Uz ovaj uređaj, plazma se stvara visokospecijaliziranim magnetskim poljem. Nije neuobičajeno postići visoke razine koncentracije u plazmi ovom metodom.
Reaktivna plazma ionskog jetkanja je stanje tvari koje je kemijski reaktivno i stvoreno je standardnim radiofrekventnim (RF) elektromagnetskim poljem. Ioni unutar plazme imaju neobično veliku količinu energije. Ti ioni reagiraju na krhotine na pločici i rade na uklanjanju nedostataka na njezinoj površini.
Kemijski proces uključen u reaktivno ionsko jetkanje je višestruki. Najprije se značajno elektromagnetno polje šalje u komoru za pločice. Polje tada oscilira, što ionizira molekule plina u posudi i uklanja njihove elektrone. To rezultira stvaranjem plazme.
Reaktivno ionsko jetkanje jedna je vrsta šire kategorije uklanjanja mikrofabrikacije koja se naziva suho jetkanje. Ne koristi tekućine u procesu uklanjanja, za razliku od mokrog jetkanja, koje koristi razne kiseline i kemikalije kako bi se postigao isti cilj. Budući da mokro jetkanje uzrokuje podrezivanje pločice, kao i značajne količine toksičnog otpada, suho jetkanje postaje sve popularnija metoda kemijskog uklanjanja pločice.
Jedan od glavnih nedostataka reaktivnog ionskog jetkanja je cijena. U usporedbi s tehnikama mokrog jetkanja, mnogo je skuplje zbog potrebne specijalizirane opreme. Međutim, postupci suhog jetkanja općenito su daleko učinkovitiji u dosezanju složenijih područja oblatne. Međutim, važno je zapamtiti da neki poslovi ne zahtijevaju sitne detalje koje pruža ovaj oblik jetkanja, a postupci mokrog jetkanja mogu jednako učinkovito izvršiti zadatak.