Raspršivanje je proces taloženja tankog filma u kojem se čvrsti ciljni materijal izbacuje na površinu supstrata kako bi se formirao tanki premaz. Sustav za raspršivanje je stroj u kojem se odvija proces raspršivanja. Sadrži cijeli proces i omogućuje korisniku podešavanje temperature, snage, tlaka, cilja i materijala podloge.
Raspršivanje je poznato kao fizičko taloženje pare, jer tanki film nastaje fizičkim putem, a ne kemijskim reakcijama. U sustavu za raspršivanje, vakuumska komora sadrži ciljni materijal, izvor energije i plinsku plazmu. Plin, koji je obično plemeniti plin kao što je argon, dovodi se u komoru pod vrlo niskim tlakom kako bi započeo proces.
Izvor energije stvara elektrone koji bombardiraju plinsku plazmu, a ti elektroni odbacuju druge elektrone prisutne u plinu. To uzrokuje ioniziranje plina i stvaranje pozitivnih iona poznatih kao kationi. Ti kationi zauzvrat bombardiraju ciljni materijal, odbacujući male dijelove istog koji putuju kroz komoru i talože se na podlogu. Proces se lako nastavlja u komori sustava za raspršivanje, jer se dodatni elektroni oslobađaju tijekom ionizacije plinske plazme.
Sustavi za raspršivanje razlikuju se po strukturi, izvoru energije, veličini i cijeni. Orijentacija ciljanog materijala i podloge specifična je za svaki stroj. Neki će sustavi biti okrenuti prema ciljnom materijalu paralelno s površinom supstrata, dok će drugi nagnuti bilo koju površinu kako bi formirali drugačiji uzorak taloženja. Konfokalno raspršivanje, na primjer, orijentira više jedinica ciljanog materijala u krug koji pokazuje prema žarišnoj točki. Podloga u ovoj vrsti sustava može se zatim rotirati za ravnomjernije taloženje.
Izvor napajanja također varira, jer neki sustavi koriste istosmjernu (DC) snagu, dok drugi koriste radiofrekvencijsku (RF) snagu. Jedna vrsta sustava raspršivanja, poznata kao magnetronsko raspršivanje, također uključuje magnete za stabilizaciju slobodnih elektrona i ujednačavanje taloženja tankog filma. Ove metode daju sustavu za raspršivanje različite kvalitete u pogledu temperature i brzine taloženja.
Sustavi za raspršivanje u rasponu su veličina od stolnih sustava do velikih strojeva koji su veći od hladnjaka. Unutarnja komora također varira u veličini, ali je općenito mnogo manja od samog stroja; većina komora ima promjere manje od 1 jarda (oko 1 metar). Trošak sustava za raspršivanje kreće se od manje od 20,000 američkih dolara (USD) koji se koriste do više od 650,000 dolara za novi ili prilagođeni sustav.