Tankofilni isparivač je stroj koji se koristi za stvaranje tankog filma. Isparavanjem ili sublimacijom različitih elemenata, tankoslojni isparivač može nanijeti iznimno tanke slojeve atoma ili molekula na materijal supstrata. Stroj se sastoji od vakuumske komore, grijaćeg elementa i aparata koji drži i pomiče podlogu dok se na nju nanosi tanak film.
Postoje dvije osnovne vrste isparavanja koje se mogu koristiti za stvaranje tankog filma. To su otporno isparavanje i isparavanje snopa elektrona. U obje ove tehnike, ciljni materijal se zagrijava u tankoslojnom isparivaču dok ne ispari ili sublimira. Kao plin, ciljni materijal se kreće kroz vakuumsku komoru sve dok ne padne na podlogu i stvori tanak film. Obje ove tehnike zahtijevaju da su ciljni materijali stabilni poput plina.
Kod otpornog isparavanja, električna struja prolazi kroz ciljni materijal, koji postaje vruć kako se napaja. Uz dovoljno topline, ciljni materijal isparava ili sublimira. Zlato i aluminij su uobičajeni ciljni materijali koji se mogu ispariti u obliku metalnih žica, zvanih filamenti. Ciljane materijale u obliku filamenata teško je ubaciti na isparivač i mogu se obrađivati samo u malim količinama. Isparivač tankog filma također može koristiti tanke listove ciljanog materijala, s kojima je često lakše raditi i daju više tvari kada se ispare.
Neki ciljni materijali su neprikladni za otporno isparavanje jer mogu izbaciti velike dijelove čvrste tvari tijekom procesa. Ako se te krutine sudaraju s tankim filmom koji se stvara na podlozi, mogu je uništiti. Isparavanje ovih materijala zahtijeva korištenje zatvorenog izvora grijanja koji omogućuje da plinoviti oblik materijala pobjegne kroz male rupe dok zarobljava dijelove čvrste tvari unutar komore za grijanje.
Isparavanje elektronske zrake zagrijava ciljni materijal usmjeravajući na njega snop elektrona visoke energije. U ovom tipu tankoslojnog isparivača, ciljni materijal se drži u ohlađenom ognjištu dok se bombardira elektronima i zagrijava. Ovaj proces je koristan za ciljne materijale s vrlo visokom temperaturom isparavanja jer fokusirani snop energije može zagrijati ciljni materijal bez zagrijavanja cijelog aparata. Spremnik koji drži ciljni materijal nije izložen ekstremnoj toplini, tako da se tijekom procesa ne topi niti isparava. Ova vrsta isparavanja tankog filma zahtijeva posebnu opremu i može biti prilično skupa.